白光干涉仪原理是什么_白光干涉仪原理

什么是白光干涉仪？干涉仪是一种分析从两个不同表面反射的光形成的干涉条纹的仪器。其基本原理是通过不同的光学元件形成参考光路和检测光路。

白光干涉仪1的特性。非接触式测量：避免损坏物体。

2.三维表面测量：表面高度的测量范围为1纳米-200微米.

3.多视角镜头：方便快速切换物镜。

4.纳米分辨率：垂直分辨率可达0.1nm。

5、高速数字信号处理器：测量只需要几秒钟。

6.扫描仪：闭环控制系统。

7、工作台：气动装置，抗震抗压。

8.测量软件：基于windows操作系统的用户界面，功能强大，操作快捷。

白光干涉仪原理干涉仪是一种利用干涉原理测量光程差从而确定相关物理量的光学仪器。两束相干光束的光程差的任何变化都会非常敏感地导致干涉条纹的移动，而一束相干光束的光程变化是由它所经过的几何距离或介质折射率的变化引起的，所以通过干涉条纹的移动和变化可以测量几何长度或折射率的微小变化，也可以测量与此相关的其他物理量。测量精度取决于测量光程差的精度。干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(~ 10-7米)。所以干涉仪是通过光波的波长来测量光程差的，其测量精度是其他任何测量方法都无法比拟的。

白光干涉仪的主要功能：观察、分析和应用。