低温探针,PAC200半自动低温探针台的功能和优点

PAC200半自动低温探针台是在低温检测环境下(液氮低至77 K或液氦低至20 K)自动测试300 mm以下晶圆和衬底的理想解决方案。它支持广泛的应用程序。

如今，行业偶像和新兴企业都在大力投资超导技术的新用途。也就是说，要应对威胁计算基础设施未来的巨大挑战，这些基础设施支持我们对数据、计算能力和互联设备不断增长的需求。量子计算(基于量子位)有望迎来人工智能、复杂系统优化、医学分子建模、密码学等新时代。使用RSFQ(快速单通量量子)、RQL(倒易量子逻辑)或类似新逻辑系列的超导冷CPU有望消除巨大的能源和热量问题，从而限制HPC(高性能计算)超级计算机和超大规模数据中心的增长和选址。

这些新的低温处理器需要内存，为了保持它们的能量优势，内存系统也必须是冷的。超导存储器可能需要几年时间，但研究表明，传统的CMOS DRAM结构可以在77K等低温下非常有效地使用。需要低温晶片测试来调整工艺并确定在这些温度下可以使用存储器组件的温度。

PAC-200半自动低温探针台是在液氮温度为77 K或低于液氦温度为20 K的低温环境中自动测试300 mm晶片和衬底的理想解决方案。它支持广泛的应用，包括最新硅、化合物半导体和超导器件的DC和射频测量。探针压板设计用于在磁脚上安装探针卡或多达八个真空定位器。为了减少热量进入，探针或探针卡被热固定在低温屏蔽上。行程范围为50 mm x 50 mm的高分辨率文章显微镜可以安装在旋转显微镜架或显微镜桥上，用于振动敏感测试应用和其他测试仪器。

以下是使PAC200探头系统灵活、稳定且易于使用的一些显著功能和优势：

该系统是根据用户的要求定制的。

它为300毫米以下的晶片或单个芯片提供不同的衬底载体

电动平台提供可编程步进，可以测试整个晶圆上的多个芯片。

Velox探针台控制软件可自动测试并提高生产率。

该系统提供广泛的电气测量(IV、CV、双端口、多端口和差分RF)。

各种探头和校准工具(如校准基板和WinCal XE校准软件)

可以使用其他测试设备(如红外光源和光学器件)。

真空室和热屏蔽可以提供低至77K(液氮)或低于20K(液氦)的无冰和无冷凝检测功能。

压板支持多达8个热锚、可移动探针定位器或易于更换的探针卡，以增加探针数量。

带有振动隔离平台的高度稳定的机械结构可以提供高探针放置精度——非常适合小型焊盘。

设计简洁明了，操作简单，符合人体工程学。

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