日本Canon（Tokki真空蒸镀机技术上榜__又一项卡中国脖子的技术！）

有机发光二极管(有机发光二极管)是未来各种可以卷曲、薄如纸的终端屏幕的主要材料。有机发光二极管制作过程中最重要的部分是“蒸”，这个过程极其困难。人们常说钱买不到，就是这么说的。

据《科技日报》年4月26日报道，真空蒸发机就像是OLED面板过程的“心脏”。用日本佳能Tokki的话来说它扼住了有机发光二极管行业的咽喉并不过分，该行业的年产量预测通常在几台到十几台之间。

钱也买不到。就是这样。

可惜目前国内没有生产蒸镀机的企业，我们在这个领域没有话语权。

佳能TOKKI蒸发机

一个

这种设备就像是生产有机发光二极管面板的“门票”。

购买佳能Tokki的设备就像获得了生产有机发光二极管面板的“门票”。佳能Tokki在业内的口碑与顶级光刻机企业ASML非常相似。

员工只有300多人，却基本垄断了全球真空蒸镀机的供应。每台机器价格超过1亿美元，依然一机难求，排队等货成为常态。

据说BOE第6代柔性有机发光二极管生产线提前量产的重要前提是拿到佳能Tokki的真空蒸镀机。

三星之所以能垄断中小有机发光二极管的生产和供应，也是因为佳能Tokki的协助。

蒸发设备的制造商不止一家。佳能Tokki为什么一机难求？因为它量产稳定，技术成熟的优势是无法比拟的。

买佳能Tokki的设备能拿到好的产品率吗？否则。

广东金桥投资合伙人罗浩源告诉科技日报记者：

蒸发设备是有机发光二极管生产的关键环节，但要在一条生产线上实现高质量的生产，就要对整个生产链进行科学的管理和整合，确保每道工序可控可靠。但是，没有真空蒸发设备，以上就无从谈起。

2

佳能Tokki将蒸发误差控制在5微米以内。

蒸发是有机发光二极管制造过程的关键，直接影响有机发光二极管屏幕显示。蒸镀机的工作是将有机发光二极管有机发光材料准确、均匀、可控地蒸镀到衬底上。

有机发光二极管显示面板中使用的大量有机材料容易受到氧气和水的影响，并且有机材料容易被污染。因此，板的蒸发通常在真空环境中进行，并且彼此独立。

通过电流加热、电子束轰击加热、激光加热等手段，将蒸发的物质蒸发成原子或分子，这些原子或分子以较大的自由程做直线运动，与基底表面碰撞，凝结形成薄膜。这个过程就是真空蒸发。

通俗地说，有机发光二极管屏幕的每一个像素都是蒸出来的。除了发光材料，金属电极也是这样蒸起来的，实际操作非常复杂。

罗浩源说道：

佳能Tokki可以将有机发光材料蒸发到基板上的误差控制在5微米以内。什么概念？一微米等于头发直径的1%。其他公司的蒸发机都达不到这个精度。

佳能Tokki专注于一个领域超过20年，拥有许多专利。例如，它很早就将机器视觉应用于设备。

在生产过程中，很难将玻璃基板与用作像素模板的精细金属网对准。通过相机追踪，佳能Tokki可以将误差范围缩小到人类红细胞的大小。

三

这是一个多维立体的全面突破

正如中国科学院院士、中科院物理所欧阳中灿教授所言，我国平板显示世界第一，但大而不强。

我国有机发光二极管企业主要聚集在产业链中下游的面板、手机等显示终端产品应用领域，上游核心生产设备完全依赖进口。

当时三星从全球40多家蒸发机厂商中选择了佳能Tokki。在有机发光二极管工业的休眠期，当托克陷入破产危机时，它仍然给予全力支持。钍

罗浩源同意张国斌的观点：

说到被卡在行业咽喉的核心设备——真空蒸镀机，到底能不能追，从上到下都是一头雾水。中国目前的有机发光二极管产业布局和推广模式可以使我们在短时间内形成产业规模，但无法实现高端装备的自主研发和装备能力。如果这个问题不解决，别说真空蒸发机，其他有机发光二极管设备的突破也将是一句空话。

中国电子材料工业协会常务副秘书长童渊认为，材料或设备不是单一的产品，而是涉及到面板的系统工艺和技术。如果配套企业只靠自己的努力，可能只能实现某一种材料或设备的国产化替代。罗浩源说道：

这是一个多维立体的全面突破。

有机发光二极管生产的难点在于精密制造，精密制造的技术壁垒在于精密设备。

虽然国内大型有机发光二极管生产线设备尚属空白，但有机发光二极管科研蒸发设备已达到国际水平，中试生产设备研制成功。“虽然离摆脱‘真空’有点远，但我正在路上。”罗浩源说道：

真空蒸镀机等核心设备的缺乏，反映了我国基础研究、精密加工、自动控制等领域的短板。虽然很难，但是每一代人都有每一代人的任务。希望我们这一代能出一台真空蒸镀机。