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光刻机一秒内发生了什么事故(光刻机一秒内发生了什么)

2023-01-16 18:00:04娱乐帅气的蚂蚁
之前我们讲过芯片的光刻,今天我们就来看一下光刻机一秒内发生了什么。这是一台光刻机,其组成部分是激光器、光束矫正器、能量控制器、光束

光刻机一秒内发生了什么事故(光刻机一秒内发生了什么)

之前我们讲过芯片的光刻,今天我们就来看一下光刻机一秒内发生了什么。这是一台光刻机,其组成部分是激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置遮光器、能量探测器、掩膜板掩膜台、物镜、硅片等等多种复杂的元器件。

首先,激光器会发射激光,通过矫正器让激光束尽量平行,然后经过能量的调整,再将光束的形状设置为圆形、环形等不同形状。能量探测器将检测光束的能量是否符合曝光要求,然后再通过掩模板,掩模板是一块刻着复杂线路设计图的玻璃板。

而这一块玻璃板的价格会在10万美金左右,研磨板会在演播台上做纳米级的运动。当硅片在某时刻不需要曝光,此时遮光器就会阻止光束的照射,接下来光束会通过物镜在。

将掩膜板上的电路图按比例缩小,再由激光映射在硅片上。重复上述的过程,加上时刻与打磨、分装等流程,一块昂贵的芯片就产生了。

所以光科技的作用就是不停的发射激光,刻录电路图,而研发一台制成极高的光刻机,却需要几十种学科的配合和大量的金钱以及时间的投入。